技術(shù)編號：3459924
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氟硅材料生產(chǎn)領(lǐng)域，具體地說是一種四氟化硅的生產(chǎn)工藝。背景技術(shù)四氟化硅為多晶硅等高新的主要的原料，低成本的四氟化硅生產(chǎn)技術(shù)對于降低多晶硅的生產(chǎn)成本意義重大。目前四氟化硅的生產(chǎn)主要是采用螢石、石英為原料的硫酸法回轉(zhuǎn)窯生產(chǎn)技術(shù)，生產(chǎn)原料成本高，生產(chǎn)過程能耗高、反應(yīng)溫度高(250°C -300°C),收率低，直接導(dǎo)致了多晶硅的生產(chǎn)成本高。發(fā)明內(nèi)容為解決上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種四氟化硅的生產(chǎn)工藝，采用氟化 工以及磷肥工業(yè)的含氟氣體回收處理過程獲...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。