技術編號：3451734
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于多晶硅鑄錠領域，特別涉及一種電子束熔煉與長晶技術耦合制備多晶硅的裝置。一種電子束熔煉與長晶技術耦合制備太陽能級多晶硅的裝置，爐體內(nèi)放置有石墨坩堝，石墨坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞有石墨加熱體和石墨保溫套，石墨保溫套的上石墨蓋板可水平移動，且在爐體的一側(cè)與上石墨蓋板的平行位置處外接有空心板槽；石墨坩堝底部中心位置安裝有水冷拉錠機構；其內(nèi)置有冷卻循環(huán)水管；爐體頂部通連安裝有電子槍，側(cè)部上端開有充氣閥，下端開有放氣閥。優(yōu)點該裝置將電子束熔煉技術與長晶過...
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