技術編號：3451682
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型多晶硅還原爐可調多路進氣結構，主要由進氣支管、進氣環(huán)管、進氣總管、流量調節(jié)閥和測溫儀組成。原料氣分別從進氣總管進入到進氣環(huán)管，再通過進氣支管進入到爐體內部。進氣總管中設置的測溫儀可測量進氣溫度，反饋到系統(tǒng)控制中心，控制中心可根據監(jiān)測到的值按照工藝條件精確調節(jié)各進氣總管中的進氣溫度，保持爐內溫度場的穩(wěn)定。進氣總管中設置的流量調節(jié)閥可測量進氣量，并通過遠程控制,設置流量調節(jié)閥的開度以調整流量，實現(xiàn)對爐內氣體量的控制,保持合理供料。本實用新型主要通過還...
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