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技術(shù)編號：3449901

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本實用新型屬于ー種制取固體氟化物的反應(yīng)裝置，具體涉及ー種氟氣與金屬鈦進行反應(yīng)制備四氟化鈦的裝置。背景技術(shù)四氟化鈦在微電子エ業(yè)中用作刻蝕劑、在石化行業(yè)用作催化劑。四氟化鈦為有吸潮性的白色粉末，分子量為123.861，升華點為284°C，相對密度2.798?，F(xiàn)有技術(shù)制備四氟化鈦的方法及設(shè)備如下四氯化鈦(TiCl4)與氟化氫(HF)反應(yīng)生成四氟化鈦(TiF4),反應(yīng)式為TiCl4+4HF==TiF4+4HCl該方法的過程以四氯化鈦和氟化氫為原料制備四氟化鈦，將5...
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