技術(shù)編號：3448911
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及絕緣密封裝置，具體地，涉及一種氫化爐用組合式絕緣密封裝置。背景技術(shù)目前，在多晶硅生產(chǎn)中，每生產(chǎn)I噸“多晶硅”約生成20噸的副產(chǎn)物四氯化硅。因此，對四氯化硅進行有效的回收利用，是降低環(huán)境污染，降低生產(chǎn)成本的關(guān)鍵。熱氫化處理工藝是將四氯化硅通入氫化爐中，與氫氣在一定的溫度、配比下反應(yīng)轉(zhuǎn)化成三氯氫硅的方法。處理后不僅有效地減少了四氯化硅量，且生成了雜質(zhì)很少、純度較高的精制三氯氫硅，簡單提純后就可作為生產(chǎn)多晶硅的原料，且整個處理過程中污染較小，對環(huán)境...
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