技術編號:3447516
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于半導體領域,涉及,特別涉及一種采用化學氣相沉積制備石墨烯的方法。背景技術石墨烯,即石墨的單原子層,是碳原子按照SP2成鍵形成的以蜂窩狀排列的二維結構。2004年英國曼徹斯特大學的兩位科學家使用微機械剝離的方法發(fā)現(xiàn)了石墨烯,并于2010年獲得了諾貝爾物理學獎。自從石墨烯被發(fā)現(xiàn)以后,由于其在機械、電學、光學和化學都具有優(yōu)異的性能,例如很高的電子遷移率、室溫下表現(xiàn)出長程彈道輸運性質、帶隙可以調控等,使其擁有巨大的 應用前景,從而學術界、工業(yè)界對其備受矚...
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