技術(shù)編號：3446546
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及濕法磷酸生產(chǎn)電子級磷酸技術(shù)，尤其是濕法磷酸生產(chǎn)電子級磷酸脫砷的方法。背景技術(shù)電子級磷酸屬高純磷酸，它是超凈高純試劑中的一種，廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路(1C)、薄膜液晶顯示器(TFT-IXD)、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)等方面，用作清洗和蝕刻劑，其純度和潔凈度對電子元器件的產(chǎn)品率、電性能、可靠性等都有著十分重要的影響。生產(chǎn)具有穩(wěn)定的電氣特性和可靠性的電子元件和電路時，要求處理硅晶片的化學(xué)試劑非常純凈，不溶性固體顆?；蚪饘匐x子可能在微細(xì)電路之間導(dǎo)電，使之短路...
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