技術(shù)編號：3446423
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于微電子，涉及半導體薄膜材料及其制備方法，具體地說是，用于制作微電子器件。背景技術(shù)自從2004年英國Manchester大學的AndreGeim和他的合作者Kostya Novoselov使用機械剝離法首次制備出石墨烯以來，石墨烯即引起了全球轟動，從而引發(fā)了材料、凝聚態(tài)物理、微電子、化學等領(lǐng)域的研究熱潮。石墨烯是由SP2雜化的單層碳原子緊密堆積成ニ維蜂窩狀晶格結(jié)構(gòu)的ー種碳質(zhì)新材料，這是目前發(fā)現(xiàn)最薄的材料。由于其獨特的ニ維結(jié)構(gòu)和優(yōu)異的晶體學質(zhì)量，石墨...
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