技術(shù)編號(hào):3444364
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于化工行業(yè)的多晶硅生產(chǎn)過程中配套設(shè)備,即多晶硅生產(chǎn)干法尾氣噴淋塔。背景技術(shù)多晶硅工業(yè)生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生大量氯硅烷尾氣,其成分和結(jié)構(gòu)復(fù)雜,主要是三氯氫硅、四氯化硅等易水解的物質(zhì),其水解產(chǎn)物為HC1、Si02、H2等,同時(shí)還放出大量的熱。然而在實(shí)際生產(chǎn)中,往往采用簡(jiǎn)單的噴頭噴淋方式來水解三氯氫硅等氣體,由于噴頭噴淋方式會(huì)使得噴淋不均勻而容易造成管道堵塞,同時(shí)也由于水與廢氣接觸時(shí)間短,使得水解不完全,造成環(huán)境污染,甚至可能產(chǎn)生爆炸等嚴(yán)重后果。實(shí)用新型內(nèi)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。