技術(shù)編號：3444262
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及冶煉裝備，具體是一種多晶硅氫化爐用石墨底座。 背景技術(shù)在多晶硅生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生劇毒的四氯化硅尾氣。為了處理這些尾氣可以將它們通入到氫化爐中，使四氯化硅與氫氣發(fā)生氫化反應(yīng)，再將生成的三氯氫硅返回到還原爐中作為原料使用。氫化爐采用石墨或者炭/炭復(fù)合材料作為發(fā)熱體，而石墨底座是用來將發(fā)熱體與外部供電設(shè)備連接起來的引電體。目前的石墨底座的兩個相鄰面夾角是直角，由于石墨底座與發(fā)熱體的熱膨脹系數(shù)不同，因此會導(dǎo)致發(fā)熱體與石墨底座之間產(chǎn)生縫隙，從而在直角處發(fā)...
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