技術(shù)編號(hào)：3442999
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅的生產(chǎn)。更確切地，本發(fā)明涉及使用氣相沉積方法來生產(chǎn)多晶硅的反應(yīng)器和方法。背景技術(shù)硅是電子工業(yè)和太陽能電池工業(yè)中非常重要的材料。目前，可使用冶金方法來生產(chǎn)用于太陽能電池工業(yè)的高純度硅。然而，冶金品質(zhì)的硅產(chǎn)生具有有限效率的太陽能電池。 除了在電子工業(yè)內(nèi)應(yīng)用外，必須使用化學(xué)氣相沉積(CVD)方法來生產(chǎn)給予太陽能電池更高效率的足夠純度的硅。來自電子工業(yè)的硅廢物已用于生產(chǎn)太陽能電池。然而，太陽能電池工業(yè)的增長(zhǎng)已導(dǎo)致硅短缺。除了電子工業(yè)的不斷增長(zhǎng)的重要性和...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。