技術(shù)編號(hào):3442724
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種高收率超凈高純氫氟酸的提純裝置。屬電子化學(xué)品技術(shù)領(lǐng) 域。背景技術(shù)氫氟酸(hydrofluoric,HF),相對(duì)分子量20. 1,為無(wú)色透明液體,強(qiáng)酸性;其對(duì)金 屬、玻璃有強(qiáng)烈的腐蝕性,為劇毒。氫氟酸密度(25°C)為1.13g/ml(40重量%)。而超高純 氫氟酸為強(qiáng)酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰乙酸、過(guò)氧化氫和氫氧化銨等配合使用,主要用 于超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的生產(chǎn)。目前普遍采用的氫氟酸的提純裝置是將工業(yè)無(wú)水氟化氫直接投入精餾塔中,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。