技術(shù)編號：3442248
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種噴嘴，特別是一種多晶硅還原爐的進料噴嘴。 背景技術(shù)目前，國內(nèi)外生產(chǎn)多晶硅的主要工藝技術(shù)是“改良西門子法”用氯氣和氫氣合成 氯化氫，氯化氫和硅粉在一定溫度下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅進行分離精餾提純，提 純后的高純?nèi)葰涔枧c氫氣按比例混合后通入多晶硅還原爐內(nèi)，在一定的溫度和壓力下， 在通電高溫硅芯上進行沉積反應生成多晶硅，反應溫度控制在1080攝氏度左右，最終生成 棒狀多晶硅產(chǎn)品，同時生成四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等副產(chǎn)物。多晶硅還原爐...
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