技術(shù)編號：3441741
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種三氯氫硅精餾提純的方法，特別涉及一種利用循環(huán)熱對三 氯氫硅進行精餾提純的方法。背景技術(shù)目前，三氯氫硅生產(chǎn)(包括四氯化硅氫化生產(chǎn)三氯氫硅)化學(xué)反應(yīng)如下 Si+3HC1 = SiHC13+H2 ； Si+4HC1 = SiC14+2H2 ；氫化 3SiC14+2H2+Si = 4SiC13。主要裝置合成爐，其冷卻裝置為內(nèi)外套管結(jié)構(gòu)。一種冷卻方法是熱水從套管中的內(nèi)管進到 管的底部(套管外部為反應(yīng)放熱區(qū))，在底部汽化帶走熱量，從內(nèi)管外管之間的間隙...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。