技術(shù)編號(hào)：3440876
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于三氯氫硅精餾提純，具體涉及。 背景技術(shù)三氯氫硅是生產(chǎn)太陽能級與微電子級多晶硅的重要原料，同時(shí)也是合成有機(jī)硅的重要中間體。多晶硅是半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽能光伏電池產(chǎn)業(yè)的最重要、最基礎(chǔ)的功能性材料，有機(jī)硅是新型化工材料，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。為促進(jìn)我國光伏產(chǎn)業(yè)和電子信息產(chǎn)業(yè)的持續(xù)快速發(fā)展，國家發(fā)改委將“光伏硅材料的技術(shù)開發(fā)”列入了《可再生資源產(chǎn)業(yè)發(fā)展指導(dǎo)目錄》。目前，國內(nèi)生產(chǎn)三氯氫硅工藝流程大致如下脫水后的氯化氫氣體和烘干后的硅粉在流化床式合成爐內(nèi)反...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。