技術(shù)編號(hào):3440768
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及精制硅的方法,即從較低純度的硅獲得較高純度的硅的方法,以及實(shí)施該方法的設(shè)備和根據(jù)該方法獲得的硅晶體。適用于從各種純度的硅或含硅材料制取半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域應(yīng)用的高純硅材料。背景技術(shù)用于制造半導(dǎo)體或光伏元器件的硅材料,需要較高的純度,通常在6N 8N,和較低的雜質(zhì)含量,一般單一金屬雜質(zhì)低于0. lppm,氧、碳在數(shù)ppm,硼、磷等電性雜質(zhì)在0. 1 Ippm0高純硅的工業(yè)生產(chǎn),目前主要采用改良西門子法和硅烷法,通過將硅制成化合物三氯氫硅和硅烷,提純后...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。