技術(shù)編號：3438492
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種改進(jìn)的尾氣中氫氣的純化工藝，回收的氫氣純度在 99. 9999%以上。背景技術(shù)利用三氯氫硅裂解法生產(chǎn)多晶硅，將產(chǎn)生大量的氯硅烷，氫氣和少量的氯化氫。 CVD的尾氣首先用四氯化硅在低溫下噴淋冷凝氯硅烷，再經(jīng)過加壓深冷，用氯硅烷吸收氯化 氫，回收氫氣，吸收有氯化氫的四氯化硅解析出氯化氫后，返回吸收系統(tǒng)循環(huán)使用，解析出 來的氯化氫返回多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)。回收氫氣中仍然含有微量的硅烷、氯化氫及其它金屬雜 質(zhì)。通過活性炭吸附塔加以凈化，凈化后的氫氣直接...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。