技術編號:3437431
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種從單晶硅或多晶硅棒的切割或磨削加工硅晶片過程中產生的廢砂漿中制取白炭黑同時回收碳化硅的方法。具體的,將硅晶片加工工藝中產生的線切割 廢砂漿利用其中的硅制取白炭黑,同時回收其中的碳化硅固體微粉以實現(xiàn)再次用于硅棒 切片工序的目的。背景技術白炭黑的學名是水合二氧化硅(mSiCVnH20),因其微觀結構和聚集體形態(tài)和炭 黑類似,補強性能與炭黑相媲美,故被稱為白炭黑。白炭黑具有粒徑小、比表面積大、 化學純度高、分散性能好等特征,以其優(yōu)越的穩(wěn)定性、補強性...
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