技術(shù)編號(hào):3437276
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種,特別地涉及一種通過四氯化硅的催化氫化反應(yīng)來制造三氯氫硅的方法。 背景技術(shù)多晶硅是太陽能光伏組件的原材料,隨著光伏行業(yè)利好政策的推出,光伏產(chǎn)業(yè)必 將掀起熱潮,市場(chǎng)對(duì)于多晶硅的需求必然也會(huì)隨之增加。 目前,國際上多晶硅制造技術(shù)70%以上使用的是改良西門子法。改良西門子法制 造多晶硅主要是通過三氯氫硅和氫氣在還原爐中高溫沉積于硅芯表面而得。其中產(chǎn)出多晶 硅的同時(shí),副產(chǎn)大量的四氯化硅,平均每制造It的多晶硅將消耗15 20t三氯氫硅,同時(shí) 還副產(chǎn)1...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。