技術(shù)編號：3436958
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及在流化床反應(yīng)器內(nèi)利用惰性氣體使鎢粉末在流化狀態(tài)下進(jìn)行氟化反應(yīng)來制備六氟化鎢的方法及其裝置。本發(fā)明的流化床反應(yīng)器能夠使反應(yīng)所必須的接觸面積最大化，可以有效地控制反應(yīng)溫度，因此能夠有助于大幅度地提高轉(zhuǎn)化率。 背景技術(shù) 六氟化鎢(WF6)是一種沸點低(BP＝19.5℃)、比重大的化合物，具有從固體直接升華的性質(zhì)。 六氟化鎢在半導(dǎo)體制造工藝中用于蒸鍍鎢。在半導(dǎo)體制造工藝中，要求不混入其他雜質(zhì)金屬的高純度六氟化鎢。 專利文獻(xiàn)1公開了使金屬鎢與氟或者三...
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