技術(shù)編號：3436944
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于納米材料，涉及一種圖案化碳納米材料的制備方法， 尤其涉及一種采用電子束光刻聚甲基丙烯酸甲酯薄膜制備圖案化碳納米結(jié)構(gòu) 材料的方法。背景技術(shù)圖案化的碳納米結(jié)構(gòu)材料由于在場發(fā)射，集成電路，納米電極，光學(xué)器件， 生物器件等方面的潛在應(yīng)用引起了人們的關(guān)注。目前，制備圖案化的碳納米結(jié) 構(gòu)材料的方法有很多，包括化學(xué)氣相沉積，濺射法，電子束輻照單層高分子材 料，電子束誘導(dǎo)沉積法等等，各種方法使用的前驅(qū)體都不同。電子束誘導(dǎo)沉積方法是在高強(qiáng)度的電子束作用下碳?xì)錃怏w分...
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