技術(shù)編號：3435900
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及生產(chǎn)六氯乙硅烷(Si2Cl6)的方法，其中六氯乙硅烷可從生產(chǎn)高純度多晶硅的方法排放的廢氣中有效地回收。并且，本發(fā)明優(yōu)選涉及回收四氯乙硅烷(Si2H2Cl4)與六氯乙硅烷的生產(chǎn)方法。本發(fā)明公開本發(fā)明解決了生產(chǎn)六氯乙硅烷方法中的上述常見問題，并提供了這種可有效獲得高純度的六氯乙硅烷的方法。也就是說，在本發(fā)明中，通過考慮其中使用高純度原料氣體的生產(chǎn)多晶硅的方法，發(fā)現(xiàn)在含未反應(yīng)的氫氣、三氯硅烷和副產(chǎn)物四氯化硅的廢氣中包含一種高純度的聚合物，例如六氯乙硅烷...
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