技術(shù)編號(hào)：3434821
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及通過蒸餾。EP-A 1264798描述了通過從其它氯硅烷和工業(yè)廢氣中餾出而由多晶硅沉積產(chǎn)生 的廢氣制備六氯乙硅烷。GB 923784描述了通過在200-600°C的溫度范圍內(nèi)熱裂解三氯硅 烷制備六氯乙硅烷，所述反應(yīng)必須在保護(hù)氣體下或在氫氣下進(jìn)行。DE 1142848同樣描述了 通過在電子爐中加熱三氯硅烷至200-1000°C得到高純度六氯乙硅烷。這個(gè)反應(yīng)也是在保護(hù) 氣體下或用氫氣作為運(yùn)輸氣體進(jìn)行。WO-A 06109427描述了通過用活性炭處理...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。