技術編號:3432683
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。該設備屬太陽能多晶硅冶煉行業(yè)領域,特別是一種金屬硅旋轉(zhuǎn)可傾倒式造 渣冶煉爐。 背景技術目前多晶硅主要采用化學提純、物理提純兩種方法進行生產(chǎn),其中化學提 純方法主要有西門子法,西門子法,它的第一步,是在一定的溫度下讓冶金硅 粉末和氯化氫在流化床上反應;第二步,是對SiHC13進行分餾,在這一過程中 可以把具有不同沸點的氯化物分離出來;第三步,是硅的沉積。多晶硅反應爐 一般均采用單端開口的鐘罩形式。通常多晶硅的沉積反應要進行200 300h,使沉 積在硅橋上的...
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