技術(shù)編號：3431745
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。對涉及申請的交叉引用本申請涉及于2000年2月18日申請的待決美國專利申請序列號No.09/507,711，以及于2000年2月25日申請的No.60/184,970，并要求它們的優(yōu)先權(quán)。本申請獲國家科學(xué)基金會小型商業(yè)改革研究項目許可，許可號No.DMI-9901717。發(fā)明背景有時細(xì)桿由金屬桿代替，它更易導(dǎo)電并且更易用電流加熱。該法稱為“羅杰斯黑茲”(Royers Heitz)法。然而，金屬引入化學(xué)氣相沉積工藝引入了金屬污染，此多晶硅產(chǎn)品的污染在半導(dǎo)體/...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。