技術編號：3429826
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。供參照的相關申請本申請是1994年1月7日申請，申請?zhí)?8/179001共同未決申請的一分案及其部分繼續(xù)申請。本發(fā)明屬高精密電子元件的制造領域，具體與用作這類元件制造處理試劑的氨的制備及處置有關。背景技術在電子元件制造的各個工序，污染是一個關鍵問題。污染控制對產(chǎn)品質(zhì)量至關重要，而且，為獲得預期的產(chǎn)率及經(jīng)濟效益，極大限度地保證制造環(huán)境的潔凈程度也所必需。尤其在制造高密電路以及超精密軸承、記錄頭和LCD顯示裝置的場合，這些要求就更為嚴苛。污染源包括制造中的公用...
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