技術(shù)編號(hào):3425335
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明總的涉及薄的有機(jī)膜,更尤其地,涉及一種使用原子或分子層沉積法在 基質(zhì)上沉積有機(jī)薄膜的方法。尤其,本發(fā)明涉及一種制備有機(jī)薄膜,包括無(wú)機(jī)-有機(jī)雜 化薄膜的膜的方法,所述薄膜可以用在電子或光學(xué)器件中。發(fā)明背景現(xiàn)代電子儀器需要多構(gòu)圖層的電或光學(xué)活性材料,其通常沉積在相對(duì)大的基板 之上。電子器件,例如射頻識(shí)別(RFID)標(biāo)簽、光伏器件、光學(xué)和化學(xué)傳感器都需要在其 電子線路中有一些程度的構(gòu)圖(patterning)。平板顯示器,例如液晶顯示器或電致發(fā)光顯...
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