技術(shù)編號：3422298
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種硅片吸取裝置，尤其涉及在磨削機(jī)狹窄的磨 削腔體內(nèi)能夠非常方便、迅速、安全地取出硅片的真空吸盤。背景技術(shù)在硅片磨削制造流程中，由于磨削砂輪高速旋轉(zhuǎn)，為了保證機(jī)器 和操作人員的安全性，這一加工過程一般設(shè)計在一密封腔體內(nèi)完成。 在加工時，由于可能出現(xiàn)的某些情況，例如機(jī)器突然斷電、真空壓力 不足等，使得硅片停留在磨削腔體中，此時磨削機(jī)需要檢査出故障原 因后才能重新啟動，停留在磨削機(jī)腔體內(nèi)的硅片需要人工手動取出， 但由于磨削機(jī)腔體空間狹小，而且固定...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。