技術(shù)編號：3421336
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種真空鍍膜生產(chǎn)線，尤其涉及用于大面積光學(xué)介質(zhì)膜和透明導(dǎo)電膜組 成的抗反射導(dǎo)電膜，并能實現(xiàn)基片裝載連續(xù)循環(huán)和不間斷生產(chǎn)大面積抗反射導(dǎo)電膜產(chǎn)品的連 續(xù)磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線。 背景技術(shù)現(xiàn)有傳統(tǒng)的導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線采用的工藝為在玻璃基板上鍍氧化硅(Si02)隔離層和透 明導(dǎo)電層(一般采用鍍氧化銦錫ITO透明導(dǎo)電膜)。例如中國專利號為01258489. 4授權(quán)公告 號為CN2516564Y的實用新型專利，公開了一種具有中頻反應(yīng)濺射二氧化硅的氧化銦錫玻璃在...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。