技術(shù)編號：3420700
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及熱處理設(shè)備，具體地說是一種真空退火爐。 背景技術(shù)材料在進行退火熱處理過程中，會經(jīng)歷 一個重結(jié)晶和晶粒長大的過程；重結(jié)晶包括核的生長與長大兩個基本過程。材料在完成重結(jié)晶 之后，繼續(xù)升髙溫度或延長保溫時間，會發(fā)生晶粒的長大。各種塊體 及薄膜材料進行真空退火或者保護氣保護下的退火處理之后，結(jié)構(gòu)和 性能都會發(fā)生變化。目前，現(xiàn)有的真空退火爐包括電爐、石英管、工作臺及真空抽氣 裝置。石英管插在電爐內(nèi)，兩端向外伸出，支撐到工作臺上；石英管 的一側(cè)與真空抽氣...
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