技術編號：3417428
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及燒結而制作的濺射靶(以下，有時簡稱為濺射靶或靶)、濺射靶的制造方法。另外，本發(fā)明涉及使用濺射靶得到的透明導電膜及透明電極。背景技術近年來，顯示裝置的發(fā)展顯著，液晶顯示裝置(IXD)或、電致發(fā)光顯示裝置(EL)、 或場致發(fā)射顯示器(FED)等作為個人電腦或文字處理器等辦公設備、或工廠中的控制系統(tǒng)用顯示裝置使用。還有，這些顯示裝置均具有利用透明導電性氧化物夾著顯示元件的夾層結構。作為這樣的透明導電性氧化物，如非專利文獻1中所述記載的一樣，利用濺射法、...
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