技術(shù)編號(hào)：3416802
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于薄膜材料制備領(lǐng)域，具體涉及。 背景技術(shù)一些高溫、沖擊、重載、強(qiáng)腐蝕介質(zhì)等惡劣的實(shí)際工礦條件使得近年來表面技術(shù)的研究開發(fā)得到長(zhǎng)足的發(fā)展，成為科技界令人矚目的新興領(lǐng)域。硬質(zhì)薄膜材料作為改善工件表面性能的有效手段備受材料界關(guān)注。S. Veprek教授最早提出了納米晶(nc)/非晶(α) 復(fù)合結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)概念，通式表示為nc-MeN/ α -Si3N4(Me=Ti, Cr、Zr、V)。其微觀結(jié)構(gòu)一般是nc_MeN納米尺寸的晶相均勻鑲嵌于Q-Si3N4 非晶...
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