技術(shù)編號：3407517
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及硅片鍍膜設(shè)備，特別是一種硅片鍍膜設(shè)備內(nèi)的鍍膜載 板。背景技術(shù)現(xiàn)有的太陽能電池載板式PECVD鍍膜設(shè)備，如Roth&Rau公司的，均采用石墨 材質(zhì)的載板，一方面，在石墨載板的前端與后端容易出現(xiàn)成膜膜厚和折射率不均勻的現(xiàn) 象，造成薄膜顏色上的差異，影響電池外觀；另一方面，同時載板的強(qiáng)度在使用過程中 會降低。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是生長膜厚和折射率均勻的薄膜，減少生產(chǎn) 過程中的色差現(xiàn)象。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)...
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