技術編號：3406859
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于材料制備裝置，具體涉及一種制備納米粉末和薄 膜材料的裝置。背景技術納米粉末和薄膜材料往往具有常規(guī)塊體材料所不具備的聲、光、磁、 電、熱、催化等特性，在國防、化工、電子信息、航天、冶金、能源等領 域具有廣闊的應用前景。目前納米粉末制備方法大致可以分為機械研磨法、 激光法和濕化學法；薄膜材料的制備方法主要有磁控濺射、分子束外延、 脈沖激光沉積；MOCVD、 PECVD等方法。概括起來，現(xiàn)有的納米粉末和 薄膜材料制備方法及裝置研究方面，主要存在以下幾方...
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