技術(shù)編號：3405833
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在塑料材料表面磁控濺射制備化合物薄膜的方法。 背景技術(shù)塑料材料(如PC、 PMMA、 PET、 PS的板材或膜材等)表面通過蒸鍍或濺鍍 制備金屬膜，利用其金屬色澤和裝飾性，已廣泛用于數(shù)碼視窗、家電面板、工 業(yè)或醫(yī)用儀表顯示屏等。但金屬膜大多只具備裝飾性，無法提供其它的功能(如 光電轉(zhuǎn)換、耐磨抗刮、絕緣性等)。已有高校和研究院所，采用鍍膜時向真空內(nèi)通入反應性氣體的方式，在塑 料材料表面制備氧化物、氮化物、碳化物等化合物薄膜；但大多數(shù)仍處于初步 的實...
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