技術編號：3403852
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種支撐加熱坩堝的裝置以及包括它的沉積設備，更具體地說，涉及一種支撐沉積設備中加熱坩堝的裝置，該設備可防止沉積材料附著在支撐裝置的孔洞邊緣，以便易于維護、管理和使用該加熱坩堝，也涉及包括它的沉積設備。背景技術 電致發(fā)光顯示裝置，是一種自發(fā)光型顯示裝置，具有視角廣、對比度優(yōu)異、反應速度快的優(yōu)點。因此，該電致發(fā)光顯示裝置顯著地作為下一代顯示裝置之一。根據發(fā)射層(EML)形成材料，該電致發(fā)光顯示裝置可分為無機電致發(fā)光顯示裝置和有機電致發(fā)光顯示裝置。有機...
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