技術編號：3403558
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及真空沉積的領域。更具體而言，本發(fā)明涉及有機材料 的薄膜的真空沉積，例如用于制備基于有機材料的電致發(fā)光二極管(OLED)。 背景技術OLED裝置的基本單元的結構是由夾在透明的陽極和金屬陰極 之間的非常精細的有機層的堆疊構成的。這些有機層是通過材料或構 成該層的材料的蒸發(fā)和真空沉積制備的。由該制備過程提出的一個問題是，于真空中在含有待處理的已蒸 發(fā)的有機材料的基材的情況下引入外殼。例如第US 4,553,022號美國專利描述了用于實施該方法的已知 的...
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