技術(shù)編號：3402733
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理裝置，特別涉及在公共搬運(yùn)室上連接有多個(gè)處理室的集群工具型(也稱為多處理室型)處理裝置。這里，所謂半導(dǎo)體處理是指，為了通過以規(guī)定的圖形在半導(dǎo)體晶片或者LCD(液晶顯示器)或者FPD(平板顯示器)用的玻璃基板等被處理基板上形成半導(dǎo)體層、絕緣層、導(dǎo)電層等，而在被處理基板上制造包括半導(dǎo)體設(shè)備、連接到半導(dǎo)體設(shè)備上的配線、電極等的構(gòu)造物所實(shí)施的種種處理。背景技術(shù) 圖14是概略地示出現(xiàn)有技術(shù)的集群工具型的半導(dǎo)體處理裝置的平面圖。該處理裝置1具有從載置...
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