技術(shù)編號(hào)：3400461
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及成膜方法和成膜裝置、自發(fā)光元件的制造方法和制造裝置。背景技術(shù) 作為在被成膜面上成膜金屬材料的方法之一，已經(jīng)知道有電子束蒸鍍法。該電子束蒸鍍法與加熱蒸鍍相比，可以獲得較高的成膜速度，所以被應(yīng)用于有機(jī)EL元件等自發(fā)光元件的金屬電極膜形成中，可以縮短制造時(shí)間。圖1是說明基于以往的電子束蒸鍍的金屬薄膜形成的說明圖。根據(jù)該方法，在真空成膜室內(nèi)配置基板J1，利用電子束發(fā)生器(電子槍)J4向收容在成膜源(坩堝)J2內(nèi)的金屬材料J3照射電子束J5并使其熔化，所產(chǎn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。