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技術(shù)編號：3397118

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本發(fā)明涉及一種C3N4/MN(M＝Ti，Zr)多層復(fù)合超硬薄膜，薄膜的合成裝置和合成方法，它屬于薄膜材料。九十年代初，自從美國科學(xué)家A.Y.Liu和M.L.Cohen預(yù)言新型固體共價(jià)鍵化合物C3N4可能具有接近或超世界上最硬的物質(zhì)金剛石[A.Y.Liu and M.L.Cohen，Science 245，(1989)，841；A.M.Liu and M.L.Cohen，Phy.Rev.B 42(1990)，10727]，世界各國掀起了研究和應(yīng)用這種新型超硬...
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