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太陽能選擇性吸收濺射涂層及其工藝方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3392462

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本發(fā)明是一種,涉及金屬材料的擴(kuò)散處理領(lǐng)域。太陽能選擇性吸收濺射涂層對(duì)太陽光譜具有強(qiáng)烈的吸收作用。它們大多是由紅外線透過率高的外層和對(duì)紅外線有高反射率,低發(fā)射率的金屬膜層構(gòu)成。目前,太陽能有選擇性吸收濺射涂層的工藝方法,多是采用磁控濺射鍍膜,材料主要是碳、氧金屬化合物和氮金屬化合物。常選用二種金屬為濺射靶,一個(gè)靶子在工作時(shí),另一個(gè)靶(陰極)需遮蔽。這樣不僅生產(chǎn)效率低,設(shè)備成本高,而且工藝復(fù)雜。若選擇用乙炔氣體為反應(yīng)氣體,制備金屬碳化物涂層,需高溫環(huán)境且要求基...
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