技術編號：3389072
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在大氣壓附近下對被處理物進行表面處理的裝置，尤其涉及適合于連續(xù)地搬運被處理物并進行大氣壓等離子處理等表面處理的表面處理裝置。背景技術通常，在大氣壓等離子處理等表面處理中，為了防止處理氣體成分的泄漏等，而利用處理槽將處理區(qū)域包圍(參照專利文獻1等)。在該處理槽連接有排氣吹風機或排氣泵等排氣源，將處理槽內(nèi)的包括處理氣體在內(nèi)的氣體吸引排出。在處理槽的端壁設有對被處理物進行搬入搬出的開口。在被處理物為單片狀或進行批處理時等，若在上述開口設置門，且每當...
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