技術(shù)編號：3389039
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及含有Ni、稀土元素的Al基合金濺射靶，詳細(xì)而言，涉及濺射面法線方向的結(jié)晶方位受到控制了的Ni-稀土元素-Al基合金濺射靶。以下，有時將含有Ni及稀土元素的Al基合金稱作“Ni-稀土元素-Al基合金”或僅稱為“Al基合金”。背景技術(shù)Al基合金由于電阻率低、容易加工等理由，而廣泛應(yīng)用在液晶顯示器OXD Liquid Crystal Display)、等離子體顯不面板(PDP Plasma Display Panel)、電致發(fā)光顯不器(ELD Elec...
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