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技術(shù)編號：3388992

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本發(fā)明涉及被用于液晶顯示器等的顯示裝置，作為電極和配線材料有用的顯示裝置用Al合金膜；具備上述Al合金膜的顯示裝置和用于形成上述Al合金膜的濺射靶。背景技術(shù)顯示裝置用Al合金膜主要作為電極和配線材料使用，作為電極和配線材料，可列舉如下液晶顯示器(LDC)的薄膜晶體管用的柵極、源極和漏極電極和配線材料；有機EL(OELD)的薄膜晶體管用的柵極、源極和漏極電極和配線材料；場發(fā)射顯示器(FED)的陰極和柵極電極以及配線材料；熒光真空管(VFD)的陽極和配線材料；...
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