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真空蒸鍍用掩模及用其制造的有機(jī)電致發(fā)光顯示器面板的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3387663

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本發(fā)明涉及真空蒸鍍用掩模及用其制造的有機(jī)電致發(fā)光(有機(jī)EL)顯示器面板。背景技術(shù) 最近,隨著彩色化的發(fā)展,有機(jī)EL等發(fā)光元件的象素的RGB最小節(jié)距分別微細(xì)化到50μm,人們也正在進(jìn)一步探討更小的象素。另一方面,其制造所用的蒸鍍用掩模的大小為400mm~500mm左右,因有機(jī)EL等顯示器面板的大型化,有進(jìn)一步變大的趨勢。這樣,蒸鍍用掩模變得大型化且其掩模節(jié)距變小。如果大型化的蒸鍍用掩模的掩模節(jié)距變小,則蒸鍍用掩模(マスク)本身的剛性下降,在將蒸鍍用掩模固定到...
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