專利名稱：真空蒸鍍用掩模及用其制造的有機(jī)電致發(fā)光顯示器面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空蒸鍍用掩模及用其制造的有機(jī)電致發(fā)光(有機(jī)EL)顯示器面板。
背景技術(shù)：
最近，隨著彩色化的發(fā)展，有機(jī)EL等發(fā)光元件的象素的RGB最小節(jié)距分別微細(xì)化到50μm，人們也正在進(jìn)一步探討更小的象素。
另一方面，其制造所用的蒸鍍用掩模的大小為400mm～500mm左右，因有機(jī)EL等顯示器面板的大型化，有進(jìn)一步變大的趨勢(shì)。
這樣，蒸鍍用掩模變得大型化且其掩模節(jié)距變小。如果大型化的蒸鍍用掩模的掩模節(jié)距變小，則蒸鍍用掩模(マスク)本身的剛性下降，在將蒸鍍用掩模固定到其保持部件的掩?？蚣苌蠒r(shí)，由于產(chǎn)生撓曲，所以需要在蒸鍍用掩模上施加張力。
因此，以前，在通過(guò)向蒸鍍用掩模施加張力來(lái)消除撓曲的狀態(tài)下，將蒸鍍用掩模的端部利用粘接劑粘接在掩?？蚣苌希蛘咄ㄟ^(guò)焊接等進(jìn)行固定，將蒸鍍掩模的端部通過(guò)螺紋固定進(jìn)行夾緊。
此外，作為施加張力的手段，還有絲網(wǎng)印刷用金屬掩模的框鋪設(shè)中所用的被稱為“打入法”的方法。該方法將金屬掩模夾持固定在版框槽和嵌入該槽中的壓緊件之間(參照特開平9-142053號(hào))。
但是，在用以前的方法將蒸鍍用掩模固定在掩?？蚣苌系姆椒ㄖ?，由于固定后，調(diào)整蒸鍍用掩模的張力比較困難，所以，蒸鍍用掩模在固定后因某些原因產(chǎn)生撓曲時(shí)，有不能修正的問題。
此外，從掩模框架上卸下蒸鍍用掩模比較困難，且清洗變得麻煩，而且在蒸鍍用掩模的掩模圖案發(fā)生變化時(shí)，不能變更蒸鍍用掩模，從而有不能對(duì)掩?？蚣苓M(jìn)行再利用的問題。
而且，在上述絲網(wǎng)印刷用金屬掩模的框鋪設(shè)中所用的被稱為“打入法”的方法中，由于不能進(jìn)行張力的微調(diào)，所以較難適用于精度要求較高的有機(jī)EL顯示器面板的蒸鍍用掩模中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述課題而作出的，其目的在于提供一種真空蒸鍍用掩模及采用該掩模所制造的有機(jī)EL顯示器面板，該真空蒸鍍用掩模能夠在保持于掩?？蚣苌系臓顟B(tài)下進(jìn)行蒸鍍用掩模的張力的調(diào)整，而不直接焊接在掩模框架上，并且能夠容易地從掩?？蚣苌闲断抡翦冇醚谀?。
本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模是保持在掩模框架上的真空蒸鍍用掩模，其特征是，包括蒸鍍用掩模主體，安裝在上述蒸鍍用掩模主體的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件，在將上述導(dǎo)向部件保持在上述掩模框架上時(shí)、通過(guò)上述導(dǎo)向部件向上述蒸鍍用掩模主體施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)。
如上所述，由于蒸鍍用掩模不與掩?？蚣苤苯诱辰?，所以，能夠容易地從掩?？蚣苌闲断抡翦冇醚谀?。而且，由于向該至少1邊施加規(guī)定的張力，所以，在將蒸鍍用掩模保持在掩模框架上時(shí)，能夠防止蒸鍍用掩模主體撓曲。
特別是，由于設(shè)有將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)，所以，沿蒸鍍用掩模主體的水平方向施加張力時(shí)，能夠防止導(dǎo)向部件向垂直方向隆起，并能夠防止該隆起所造成的蒸鍍用掩模主體的偏移及撓曲等。
此外，對(duì)本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模所希望的是，上述蒸鍍用掩模主體具有以規(guī)定的圖案排列開口部的掩模圖案，并在與上述開口部的長(zhǎng)度方向交叉的方向上的至少1個(gè)邊上，安裝有上述導(dǎo)向部件。
這樣，由于沿著排列規(guī)定的圖案的方向施加張力，從而能夠以消除蒸鍍用掩模主體的撓曲的方式使之伸展，所以能夠以更正確的形狀形成所蒸鍍的象素。
而且，對(duì)本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模所希望的是，在上述蒸鍍用掩模主體的相互對(duì)置的2個(gè)邊上，安裝上述導(dǎo)向部件。
這樣，由于能夠沿前后或左右2個(gè)方向施加張力，所以能夠更可靠地防止蒸鍍用掩模產(chǎn)生撓曲。
又，對(duì)本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模所希望的是，在上述蒸鍍用掩模主體的4個(gè)邊上，安裝上述導(dǎo)向部件。
這樣，由于能夠沿前后左右4個(gè)方向全部施加張力，所以能夠更可靠地防止蒸鍍用掩模產(chǎn)生撓曲。此外，各對(duì)置的邊的一個(gè)邊也可以直接粘接在托架上。
而且，對(duì)本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模所希望的是，上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的螺紋孔，和旋入上述螺紋孔中并其前端部與上述掩?？蚣軅?cè)面抵接的螺紋件。
進(jìn)而，其特征在于，在上述掩模框架的側(cè)面上形成孔，上述孔中插入通過(guò)上述螺紋件，并且，上述螺紋件的前端部與上述孔的底面部抵接。
根據(jù)這樣的張力施加機(jī)構(gòu)，能夠更可靠地并容易地防止蒸鍍用掩模的撓曲。
又，對(duì)本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模所希望的是，上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的通孔，插入通過(guò)上述通孔并且其前端部被旋入形成于上述掩?？蚣艿膫?cè)面上的螺紋上的螺紋件，和設(shè)置在上述掩?？蚣芘c上述導(dǎo)向部件之間的彈簧部件。
而且，希望上述彈簧部件是壓縮彈簧、或者是板簧。這樣，能夠更可靠地防止蒸鍍用掩模的撓曲。
又，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)可以是，在導(dǎo)向部件的長(zhǎng)度方向上夾住掩?？蚣芎蛯?dǎo)向部件的夾子部件，將上述導(dǎo)向部件和上述掩模框架相對(duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)也可以是，在蒸鍍用掩模主體的4個(gè)角部夾住掩模框架和導(dǎo)向部件的夾子部件。
又，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)也可以是下述部件，其包括形成于導(dǎo)向部件的壁面上的通孔，形成于掩模框架側(cè)面上的通孔，和插入通過(guò)上述導(dǎo)向部件的通孔和上述掩?？蚣艿耐椎匿N。
根據(jù)這樣的固定機(jī)構(gòu)，沿蒸鍍用掩模主體的水平方向施加張力時(shí)，能夠更容易并可靠地防止導(dǎo)向部件向垂直方向隆起，并能夠防止該隆起所造成的蒸鍍用掩模主體的偏移及撓曲等。
本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器面板的特征在于，采用下述的真空蒸鍍用掩模進(jìn)行制造，該真空蒸鍍用掩模是保持在掩?？蚣苌系恼婵照翦冇醚谀?，并包括蒸鍍用掩模主體，安裝在上述蒸鍍用掩模主體的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件，在將上述導(dǎo)向部件保持在上述掩?？蚣苌蠒r(shí)、通過(guò)上述導(dǎo)向部件向上述蒸鍍用掩模主體施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩模框架相對(duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)。
通過(guò)采用這樣的真空蒸鍍用掩模，由于在發(fā)光元件的象素節(jié)距向微細(xì)化發(fā)展的有機(jī)EL顯示器面板中，能夠以更正確的形狀形成所蒸鍍的象素，所以能夠制造可顯示高品質(zhì)圖像的有機(jī)EL顯示器面板。
又，希望上述真空蒸鍍用掩模主體具有以規(guī)定的圖案排列開口部的掩模圖案，并在與上述開口部的長(zhǎng)度方向交叉的方向上的至少1個(gè)邊上，安裝上述導(dǎo)向部件。
而且希望上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的螺紋孔，和旋入上述螺紋孔中并其前端部與上述掩?？蚣軅?cè)面抵接的螺紋件。
又，希望上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的通孔，插入通過(guò)上述通孔并且其前端部被旋入形成于上述掩?？蚣艿膫?cè)面上的螺紋孔中的螺紋件，和設(shè)置在上述掩?？蚣芘c上述導(dǎo)向部件之間的彈簧部件。
此外，將上述導(dǎo)向部件和上述掩模框架相對(duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)可以是，在導(dǎo)向部件的長(zhǎng)度方向上夾住掩?？蚣芎蛯?dǎo)向部件的夾子部件，也可以是，在蒸鍍用掩模主體的4個(gè)角部夾住掩?？蚣芎蛯?dǎo)向部件的夾子部件。
又，希望將上述導(dǎo)向部件和上述掩模框架相對(duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)包括形成于導(dǎo)向部件的壁面上的通孔，形成于掩模框架側(cè)面上的通孔，和插入通過(guò)上述導(dǎo)向部件的通孔和上述掩模框架的通孔的銷。
根據(jù)這樣的固定機(jī)構(gòu)，由于沿蒸鍍用掩模主體的水平方向施加張力時(shí)，能夠更容易并可靠地防止導(dǎo)向部件向垂直方向隆起，并能夠防止該隆起所造成的蒸鍍用掩模主體的偏移及撓曲等，所以能夠以更正確的形狀形成所蒸鍍的象素，因而能夠制造可顯示高品質(zhì)圖像的有機(jī)EL顯示器面板。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施形式的真空蒸鍍用掩模的立體圖，是表示從掩?？蚣苌闲断碌臓顟B(tài)的圖；圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施形式的真空蒸鍍用掩模的立體圖，是表示安裝在掩模框架上的狀態(tài)的圖；圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施形式的主要部分的立體圖，；圖4是張力施加機(jī)構(gòu)的構(gòu)成例(a)、(b)、(c)中的圖3的A-A線的剖視圖；圖5是壓縮螺旋彈簧的立體圖；圖6是表示固定機(jī)構(gòu)的具體例1的真空蒸鍍用掩模的立體圖；圖7是表示固定機(jī)構(gòu)的具體例1的真空蒸鍍用掩模的立體圖；圖8(a)是表示固定機(jī)構(gòu)的具體例3的真空蒸鍍用掩模端部的立體圖，圖8(b)是圖8(a)的B-B線剖視圖；具體實(shí)施形式以下，利用本發(fā)明的實(shí)施形式，對(duì)制造有機(jī)EL顯示器面板時(shí)的有機(jī)層的真空蒸鍍中使用本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模的情況進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖1及圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施形式的真空蒸鍍用掩模的圖。
本發(fā)明的實(shí)施形式的真空蒸鍍用掩模1是在有機(jī)EL元件制造時(shí)的蒸鍍工序(主要是有機(jī)層的形成)中、保持在掩?？蚣?1上來(lái)形成有機(jī)EL元件的裝置。
如圖1所示，真空蒸鍍用掩模1包括蒸鍍用掩模主體10、導(dǎo)向部件12和張力施加機(jī)構(gòu)14。
蒸鍍用掩模主體10和掩?？蚣?1是例如SUS344、SUS303、SUS316、SUS430等不銹鋼制的，或者是Ti(鈦)、其它金屬、陶瓷制的。此外，該掩?？蚣?1的板厚為1mm～100mm左右，優(yōu)選為4mm～30mm左右。
如果進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，則如圖1所示，真空蒸鍍用掩模1中，蒸鍍用掩模主體10的相互對(duì)置的2邊通過(guò)點(diǎn)焊接等安裝在導(dǎo)向部件12、12上。接合可以通過(guò)粘接劑或夾緊進(jìn)行，只要掩模和導(dǎo)向件得到固定即可。
而且，這些導(dǎo)向部件12、12具有與蒸鍍用掩模主體10大致相同的長(zhǎng)度。
此外，在該導(dǎo)向部件12、12上安裝有向蒸鍍用掩模主體10施加規(guī)定張力的張力施加機(jī)構(gòu)14、14......。
而且，在蒸鍍用掩模主體10上形成有掩模圖案10a，由于該圖案用于對(duì)構(gòu)成有機(jī)EL顯示器的象素等進(jìn)行蒸鍍，所以形成有微細(xì)節(jié)距的格子狀的掩模圖案10a。
掩模圖案10a中以規(guī)定的圖案排列開口部，開口部的形狀為狹縫、狹槽、圓形等，這些開口部以正方形或曲折形形狀進(jìn)行排列。
如果向沿著排列上述那樣的掩模圖案10a的開口部的方向施加張力，以消除蒸鍍用掩模主體10的撓曲的形式使之伸展，則能夠以更正確的形狀形成所蒸鍍的象素，所以如圖1、圖2所示，導(dǎo)向部件12、12安裝在與掩模圖案10a的長(zhǎng)度方向交叉的方向的蒸鍍用掩模主體10相互對(duì)置的2邊上。
而且，如圖2所示，可通過(guò)將真空蒸鍍用掩模1安裝在掩?？蚣苌蟻?lái)進(jìn)行蒸鍍作業(yè)。
對(duì)在將真空蒸鍍用掩模1安裝在掩?？蚣?1上時(shí)、用于向掩模主體施加張力的結(jié)構(gòu)進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
圖3是表示用來(lái)說(shuō)明向掩模主體施加張力的結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的實(shí)施形式的主要部分的立體圖。圖4是圖3的A-A線的剖視圖。
圖3表示安裝有圖1中的導(dǎo)向部件12的一個(gè)邊的圖，作為張力施加機(jī)構(gòu)的一部分的螺紋件(螺釘)16安裝在導(dǎo)向部件12的側(cè)面上。
而且，作為該張力施加機(jī)構(gòu)14的構(gòu)成例，有例如圖4(a)、圖4(b)、圖4(c)的剖視圖所示的例子。
首先，在圖4(a)的構(gòu)成例中，張力施加機(jī)構(gòu)14a包括形成于導(dǎo)向部件12a的側(cè)壁上的螺紋孔13a、和旋入該螺紋孔13a中并其前端部與掩?？蚣?1a的側(cè)面19a抵接的螺紋件16a。
此外，在圖4(b)的構(gòu)成例中，張力施加機(jī)構(gòu)14b包括形成于導(dǎo)向部件12b的側(cè)壁上的螺紋孔13b，螺紋件16b旋入并插入通過(guò)該螺紋孔13b，并在掩模框架11b的側(cè)面上形成與螺紋件16b前端部抵接的螺紋孔18b，螺紋件16b與該孔18b的底部抵接。
上述螺紋件16a、16b可通過(guò)擰入來(lái)使掩模主體10產(chǎn)生張力。此外，孔18b有利于防止導(dǎo)向部件12b產(chǎn)生晃動(dòng)，以及轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋件16b時(shí)防止螺紋件前端部產(chǎn)生偏移。
此外，在圖4(c)的構(gòu)成例中，張力施加機(jī)構(gòu)14c包括形成于導(dǎo)向部件12c的側(cè)壁上的通孔13c、螺紋件16c和設(shè)于掩?？蚣?1與導(dǎo)向部件12c之間的彈簧部件的壓縮螺旋彈簧17(參照?qǐng)D5)，其中，螺紋件16c插入通過(guò)該通孔13c并且其前端部旋入到形成于掩模框架11c的側(cè)面上的螺紋孔18c中。
在該圖4(c)的構(gòu)成例中，螺紋件16c能夠使處于壓縮狀態(tài)的壓縮螺旋彈簧17伸展，通過(guò)放松螺紋件16c，使掩模主體10產(chǎn)生張力。另外，上述彈簧部件也可以是板簧等具有相同功能的彈簧而不是壓縮螺旋彈簧17。
通過(guò)如以上圖4(a)、圖4(b)、圖4(c)所示的構(gòu)成例那樣地構(gòu)成張力施加機(jī)構(gòu)14(14a、14b、14c)，使上述螺紋件16(16a、16b、16c)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠使與該螺紋件16(16a、16b、16c)旋合的導(dǎo)向部件12(12a、12b、12c)移動(dòng)，能夠調(diào)整施加在掩模主體10上的張力。
即，通過(guò)調(diào)整螺紋件16從導(dǎo)向部件12的側(cè)壁突出的長(zhǎng)度，能夠調(diào)整施加在掩模主體10上的張力。
另外，作為張力的調(diào)整方法，有通過(guò)目視形成無(wú)褶皺狀態(tài)的方法、測(cè)量各螺紋件的扭矩來(lái)使上述扭矩為一定的方法、以掩模上的校準(zhǔn)標(biāo)記與標(biāo)度尺上的校準(zhǔn)標(biāo)記的誤差在一定范圍以下的方式來(lái)調(diào)整各螺紋件的方法等。
上述螺紋件16(16a、16b、16c)可以采用標(biāo)準(zhǔn)件M2～M5等。另外，上述M2的節(jié)距為0.4mm，M3的節(jié)距為0.5mm、M4的節(jié)距為0.7mm，M5的節(jié)距為0.8mm。
如上所述，本實(shí)施形式的真空蒸鍍用掩模1通過(guò)從掩?？蚣?1上卸下導(dǎo)向部件12、12，能夠簡(jiǎn)單地從掩模框架11上卸下蒸鍍用掩模主體10。
因此，蒸鍍用掩模主體10和掩?？蚣?1的清洗變得容易，而且，在掩模圖案10a發(fā)生變化時(shí)，可對(duì)掩?？蚣?1進(jìn)行再利用，從而容易地更換蒸鍍用掩模主體10。
此外，也可以設(shè)置固定機(jī)構(gòu)，該固定機(jī)構(gòu)相對(duì)于蒸鍍用掩模主體10的面沿垂直方向?qū)?dǎo)向部件12和掩?？蚣?1進(jìn)行固定。
以下舉出該固定機(jī)構(gòu)的具體例子1～3，進(jìn)行說(shuō)明。
(具體例1)如圖6所示，作為固定機(jī)構(gòu)，將長(zhǎng)條狀的夾子21在蒸鍍用掩模主體10的兩端部上沿著導(dǎo)向部件12的長(zhǎng)度方向(圖6所示的箭頭)固定在垂直方向上，并使之夾住掩模框架11和導(dǎo)向部件12。
(具體例2)或者，用如圖7所示的夾子22，如箭頭所示，相對(duì)于蒸鍍用掩模主體10的4個(gè)角部，固定在垂直方向上，并使之夾住掩模框架11和導(dǎo)向部件12。
(具體例3)圖8(a)是表示固定機(jī)構(gòu)的具體例3的真空蒸鍍用掩模端部的立體圖，圖8(b)是圖8(a)的B-B線剖視圖。
如圖8(a)及圖8(b)所示，具體例3的固定機(jī)構(gòu)在安裝于導(dǎo)向部件12的側(cè)面上的螺紋件16、16之間，設(shè)有形成于導(dǎo)向部件12的側(cè)壁上的通孔24和形成于掩?？蚣?1的側(cè)面上的孔25，通過(guò)將銷23插入通過(guò)這些通孔24和孔25中，在垂直方向上進(jìn)行固定。
除了上述固定機(jī)構(gòu)之外，也可以通過(guò)將螺紋件插入通過(guò)相對(duì)于掩模框架11的掩模表面沿垂直方向形成的通孔中，并將其前端部旋入相對(duì)于導(dǎo)向部件12的掩模表面沿垂直方向形成的螺紋孔中，從而將導(dǎo)向部件12相對(duì)于掩模框架11沿垂直方向進(jìn)行固定。
另外，盡管在上述實(shí)施形式中，在蒸鍍用掩模主體10相互對(duì)置的2邊上安裝導(dǎo)向部件12、12，并向蒸鍍用掩模主體10施加張力，但是，通過(guò)在蒸鍍用掩模主體10的4個(gè)邊上分別安裝導(dǎo)向部件12、12，也能夠向蒸鍍用掩模主體10的4個(gè)邊施加張力。此時(shí)，能夠進(jìn)一步可靠地防止蒸鍍用掩模主體10的撓曲。
如上詳細(xì)所述，由于根據(jù)本發(fā)明的真空蒸鍍用掩模，其是保持在掩模框架上的真空蒸鍍用掩模，并包括蒸鍍用掩模主體，安裝在上述蒸鍍用掩模主體的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件，在將上述導(dǎo)向部件保持在上述掩?？蚣苌蠒r(shí)、通過(guò)上述導(dǎo)向部件向上述蒸鍍用掩模主體施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩模框架相對(duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)，所以，能夠容易地從掩?？蚣苌闲断抡翦冇醚谀?。而且，由于至少在所述1個(gè)邊上施加規(guī)定的張力，所以將蒸鍍用掩模保持在掩?？蚣苌蠒r(shí)，能夠防止蒸鍍用掩模主體產(chǎn)生撓曲。
特別是，由于設(shè)有將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)，所以，沿蒸鍍用掩模主體的水平方向施加張力時(shí)，能夠防止導(dǎo)向部件向垂直方向隆起，并能夠防止該隆起所造成的蒸鍍用掩模主體的偏移及撓曲等。
根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器面板，由于其采用下述真空蒸鍍用掩模進(jìn)行制造，該真空蒸鍍用掩模是保持在掩?？蚣苌系恼婵照翦冇醚谀?，并包括蒸鍍用掩模主體，安裝在上述蒸鍍用掩模主體的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件，在將上述導(dǎo)向部件保持在上述掩模框架上時(shí)、通過(guò)上述導(dǎo)向部件向上述蒸鍍用掩模主體施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)，所以，在發(fā)光元件的象素節(jié)距向微細(xì)化發(fā)展的有機(jī)EL顯示器面板中，能夠以更正確的形狀形成所蒸鍍的象素，并能夠制造可顯示高品質(zhì)圖像的有機(jī)EL顯示器面板。
權(quán)利要求
1.一種真空蒸鍍用掩模，是保持在掩?？蚣苌系恼婵照翦冇醚谀?，其特征在于，包括蒸鍍用掩模主體，安裝在上述蒸鍍用掩模主體的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件，在將上述導(dǎo)向部件保持在上述掩?？蚣苌蠒r(shí)、通過(guò)上述導(dǎo)向部件向上述蒸鍍用掩模主體施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，上述蒸鍍用掩模主體具有以規(guī)定的圖案排列開口部的掩模圖案，并在與上述開口部的長(zhǎng)度方向交叉的方向上的至少1個(gè)邊上，安裝有上述導(dǎo)向部件。
3.如權(quán)利要求2所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，在上述蒸鍍用掩模主體的相互對(duì)置的2個(gè)邊上，安裝上述導(dǎo)向部件。
4.如權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，在上述蒸鍍用掩模主體的4個(gè)邊上，安裝上述導(dǎo)向部件。
5.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的螺紋孔，和旋入上述螺紋孔中并其前端部與上述掩?？蚣軅?cè)面抵接的螺紋件。
6.如權(quán)利要求5所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，在上述掩模框架的側(cè)面上形成孔，上述孔中插入通過(guò)上述螺紋件，并且，上述螺紋件的前端部與上述孔的底面部抵接。
7.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的通孔，插入通過(guò)上述通孔并且其前端部被旋入形成于上述掩模框架的側(cè)面上的螺紋孔中的螺紋件，和設(shè)置在上述掩?？蚣芘c上述導(dǎo)向部件之間的彈簧部件。
8.如權(quán)利要求7所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，上述彈簧部件是壓縮彈簧。
9.如權(quán)利要求7所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，上述彈簧部件是板簧。
10.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)是，在導(dǎo)向部件的長(zhǎng)度方向上夾住掩模框架和導(dǎo)向部件的夾子部件。
11.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)是，在蒸鍍用掩模主體的4個(gè)角部夾住掩?？蚣芎蛯?dǎo)向部件的夾子部件。
12.如權(quán)利要求1所述的真空蒸鍍用掩模，其特征在于，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)包括形成于導(dǎo)向部件的壁面上的通孔，形成于掩?？蚣軅?cè)面上的通孔，和插入通過(guò)上述導(dǎo)向部件的通孔和上述掩?？蚣艿耐椎匿N。
13.一種有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，采用下述的真空蒸鍍用掩模進(jìn)行制造，該真空蒸鍍用掩模是保持在掩?？蚣苌系恼婵照翦冇醚谀＃ㄕ翦冇醚谀Ｖ黧w，安裝在上述蒸鍍用掩模主體的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件，在將上述導(dǎo)向部件保持在上述掩?？蚣苌蠒r(shí)、通過(guò)上述導(dǎo)向部件向上述蒸鍍用掩模主體施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)。
14.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，上述真空蒸鍍用掩模主體具有以規(guī)定的圖案排列開口部的掩模圖案，并在與上述開口部的長(zhǎng)度方向交叉的方向上的至少1個(gè)邊上，安裝上述導(dǎo)向部件。
15.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的螺紋孔，和旋入上述螺紋孔中并其前端部與上述掩?？蚣軅?cè)面抵接的螺紋件。
16.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，上述張力施加機(jī)構(gòu)包括形成于上述導(dǎo)向部件的側(cè)壁上的通孔，插入通過(guò)上述通孔并且其前端部被旋入形成于上述掩?？蚣艿膫?cè)面上的螺紋孔中的螺紋件，和設(shè)置在上述掩?？蚣芘c上述導(dǎo)向部件之間的彈簧部件。
17.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)是，在導(dǎo)向部件的長(zhǎng)度方向上夾住掩模框架和導(dǎo)向部件的夾子部件。
18.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，將上述導(dǎo)向部件和上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)是，在蒸鍍用掩模主體的4個(gè)角部夾住掩?？蚣芎蛯?dǎo)向部件的夾子部件。
19.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL顯示器面板，其特征在于，將上述導(dǎo)向部件和上述掩模框架相對(duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)包括形成于導(dǎo)向部件的壁面上的通孔，形成于掩?？蚣軅?cè)面上的通孔，和插入通過(guò)上述導(dǎo)向部件的通孔和上述掩?？蚣艿耐椎匿N。
全文摘要
提供一種真空蒸鍍用掩模及有機(jī)EL顯示器面板，該真空蒸鍍用掩模能夠調(diào)整蒸鍍用掩模的張力，并且能夠容易地從掩?？蚣苌闲断抡翦冇醚谀！Ｔ撗谀Ｊ潜３衷谘谀？蚣?11)上的真空蒸鍍用掩模(1)，并包括蒸鍍用掩模主體(10)，安裝在蒸鍍用掩模主體(10)的至少1個(gè)邊上的導(dǎo)向部件(12)，在保持在掩?？蚣?11)上時(shí)、通過(guò)導(dǎo)向部件(12)向蒸鍍用掩模主體(10)施加規(guī)定的張力的張力施加機(jī)構(gòu)(14)，和將上述導(dǎo)向部件與上述掩?？蚣芟鄬?duì)于掩模表面沿垂直方向進(jìn)行固定的固定機(jī)構(gòu)(21)。
文檔編號(hào)C23C14/04GK1542160SQ20041000588
公開日2004年11月3日 申請(qǐng)日期2004年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月20日
發(fā)明者安彥浩志, 高橋晃 申請(qǐng)人:東北先鋒電子股份有限公司