技術(shù)編號：3382236
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)展電阻探針測試設(shè)備，具體涉及一種用于SRP系統(tǒng)研磨機(jī)的研磨夾具。背景技術(shù)擴(kuò)展電阻探針(Spreading Resistance ftOber，SRP)是半導(dǎo)體工藝中常用的監(jiān)控和失效分析設(shè)備，它可以用于測量電阻率和載流子濃度，以確定注入擴(kuò)展?fàn)顩r、結(jié)深狀況。 它通過兩根針在磨出斜面的樣品上接觸，測出兩針間的電阻值，該電阻值經(jīng)過校準(zhǔn)曲線轉(zhuǎn)換為電阻率和載流子濃度，而針?biāo)幍奈恢?，通過角度及距離換算，得到針對應(yīng)位置的深度值，以上數(shù)據(jù)綜合，就可得到...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。