技術(shù)編號：3381608
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種真空鍍膜裝置，特別是涉及一種含有氣室隔離墻，能夠用于多室連續(xù)真空鍍膜裝置。背景技術(shù)目前，濺射技術(shù)是真空鍍膜的主要方式，現(xiàn)有技術(shù)中，涉及多次濺射的，一般采用非連續(xù)式分次濺射，中間需要運轉(zhuǎn)和貯存環(huán)節(jié)。中間環(huán)節(jié)不僅令制造成本提高，被鍍基材還容易在中間環(huán)節(jié)被氧化或污染，直接影響鍍膜品質(zhì)?，F(xiàn)有的真空濺射裝置，無法實現(xiàn)連續(xù)式作業(yè)，尤其是多層薄膜的制備，如果采用一次鍍一層薄膜的方法時，既浪費時間又浪費人力物力，生產(chǎn)效率低；另外，不同濺射室的工作氣體和真...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。