技術(shù)編號：3378473
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及到柔性薄膜光伏電池規(guī)模制造裝置，特別涉及到PECVD制備過程中基材快速升降溫裝置。背景技術(shù)在本實用新型提出之前，柔性薄膜光伏電池的制造已經(jīng)形成了規(guī)模化的生產(chǎn)。在這種規(guī)?；纳a(chǎn)過程中，PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)制備作業(yè)是十分重要的工藝過程。系統(tǒng)在電極之間加上電壓時，由陰極發(fā)射出來的電子在電場被加速而獲得能量，通過與反應(yīng)室中的氣體或分子碰撞，使其分離，激發(fā)或電離，形成了很多電子，離子和活性基團。粒子所帶的正的和負總電荷相等，是一種等...
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