專利名稱：在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及到柔性薄膜光伏電池規(guī)模制造裝置，特別涉及到PECVD制備過程中基材快速升降溫裝置。
背景技術：
在本實用新型提出之前，柔性薄膜光伏電池的制造已經(jīng)形成了規(guī)模化的生產(chǎn)。在這種規(guī)?；纳a(chǎn)過程中，PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)制備作業(yè)是十分重要的工藝過程。系統(tǒng)在電極之間加上電壓時，由陰極發(fā)射出來的電子在電場被加速而獲得能量，通過與反應室中的氣體或分子碰撞，使其分離，激發(fā)或電離，形成了很多電子，離子和活性基團。粒子所帶的正的和負總電荷相等，是一種等離子體。組成等離子體的這些粒子，經(jīng)過一系列的物理-化學反應過程，就沉積在基材上而形成薄膜。PECVD作業(yè)是在真空設備中進行的，該設備中有相互對應的電極，電極上覆蓋著基材，電極還與設備外的射頻電源連接在一起。利用射頻電源對電極進行加熱，達到規(guī)定溫度時，獲得能量的電子就開始PECVD作業(yè)， 直到基材上的薄膜達到一定的要求時，PECVD作業(yè)才停止進行。這種作業(yè)需要在一定的溫度( 200°C )下才能進行，依靠設備上的射頻電源進行加熱升溫，由于射頻電源的功率不高，因此升溫速率較小，需要輔助加熱并且需要較長對時間才能達到工作溫度。在PECVD作業(yè)過程之中，電池基底需要不同的溫度，鍍完膜的薄膜電池半成品(即基材)的溫度也需要降低后才能卸載與大氣相接觸。通常的做法是向設備內(nèi)通入氮氣，利用流動的氮氣將設備內(nèi)的熱量帶出來，達到降溫的目的。然而氮氣所能帶走的熱量有限，很難在短時間內(nèi)將設備的溫度降下來。從而影響設備利用率。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術中的不足，提出一種在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置。在PECVD作業(yè)過程中，縮短升溫和降溫時間，提高作業(yè)效率和設備的利用率。本實用新型是通過以下的技術措施來實現(xiàn)的。在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置，包括內(nèi)部裝有電極的真空設備，所述的電極與外部的射頻電源相互連接，所述的電極上還附有基材；在所述的電極上鑲嵌著內(nèi)部裝有電熱絲的電熱管以及內(nèi)部通水的水管。所述的電熱管及水管鑲嵌在電極表面或內(nèi)部。所述的電極與外部的射頻電源相互連接，將電能轉(zhuǎn)換為熱能，直接對電極進行加熱，由于電加熱管是鑲嵌在導熱良好的金屬電極內(nèi)，通過對電功率的控制實現(xiàn)電極的快速升溫。所述的水管與冷水機組相連，電極的熱量將通過與冷卻水的熱交換把熱能傳遞給冷卻水。由于冷卻水管是鑲嵌在導熱良好的金屬電極內(nèi)，通過與冷卻水回路的熱量交貨，實現(xiàn)對電功率的控制實現(xiàn)電極的快速降溫。[0008]本實用新型采用上述技術措施后，在PECVD作業(yè)開始進行時，利用裝有電熱絲的電熱管繼續(xù)加熱，直到達到作業(yè)溫度為止。在PECVD作業(yè)結(jié)束后，利用水管中的冷卻水對電極進行冷卻，也可以通過冷水機用接近冰點的水進行冷卻。這樣無論是加熱階段，還是冷卻階段，電極溫度的升降速率會明顯地加快，也就會節(jié)省了不少時間，作業(yè)效率和設備的利用率均有所提高，設備的生產(chǎn)能力也得以充分發(fā)揮。

附圖1為本實用新型的實施例中的設備示意圖。附圖2為本實用新型的實施例2中電極、電熱管、水管布置示意圖。圖中1為真空設備，2為電極之一，3為電極之一，4為射頻電源，5為基材，6為電熱絲，7為電熱管，8為水管，9為冷水機，10為加熱電源。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。實施例1，如圖1所示，在薄膜光伏電池規(guī)模制造中進行PECVD作業(yè)的設備，包括真空設備1，在真空設備1的內(nèi)部裝有電極2和3，真空設備1的外部有射頻電源4，電極2和 3分別與射頻電源4相互連接，電極2和3上還附有基材5 ；在電極2和3的表面上鑲嵌著內(nèi)部裝有電熱絲6的電熱管7以及內(nèi)部通水的水管8。水管8與冷水機9相互連接，在所述的水管中通入接近冰點的水。當PECVD作業(yè)開始作業(yè)時，由加熱電源10接通電熱絲6，通過電熱管7對電極2和 3、基材進一步進行加熱，直到達到工作要求為止。在完成PECVD作業(yè)之后，需要降溫時，啟動冷水機9，向水管8輸送接近冰點的水， 直到電極2和3、基材的溫度達到常溫為止。實施例2。參見圖1與圖2，在薄膜光伏電池規(guī)模制造中進行PECVD作業(yè)的設備， 與實施例1的差異在于裝有電熱絲6的電熱管7鑲嵌在電極2和3的表面上；內(nèi)部通水的水管8則鑲嵌在電極2和3的內(nèi)側(cè)，更接近基材的地方。這樣在需要降溫時，水管8內(nèi)的冷卻水的冷卻效果更加有效，冷卻速率更加提高。以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式。應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干變型和改進，這些也應視為屬于本實用新型的保護笵圍。
權利要求1.在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置，包括內(nèi)部裝有電極(2和3)的真空設備(1)，所述的電極0和幻與外部的射頻電源(4)相互連接，所述的電極0和3)上還附有基材(5)；其特征在于在所述的電極0和；3)上鑲嵌著內(nèi)部裝有電熱絲(6)的電熱管⑵以及內(nèi)部通水的水管(8)。
2.根據(jù)權利要求1所述的在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置，其特征在于所述的電熱管⑵及水管⑶鑲嵌在電極0和3)表面或內(nèi)部。
3.根據(jù)權利要求1所述的在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置，其特征在于所述的水管⑶與提供接近冰點的水的冷水機(9)相互連接。
專利摘要在薄膜光伏電池規(guī)模制造中基材快速升降溫裝置，涉及到PECVD制備過程中基材快速升降溫裝置。在真空設備內(nèi)裝有電極，電極與外部的射頻電源相互連接，電極上還附有基材；在電極的表面或內(nèi)部上鑲嵌著內(nèi)部裝有電熱絲的電熱管以及內(nèi)部通水的水管。水管還可與冷水機相連接，在水管中通入接近冰點的水。采用本實用新型后，電極溫度的升降速率會明顯地加快，作業(yè)效率和設備的利用率均有所提高，設備的生產(chǎn)能力也得以充分發(fā)揮。
文檔編號C23C16/46GK202107764SQ201120069558
公開日2012年1月11日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權日2011年3月17日
發(fā)明者奚建平 申請人:蘇州思博露光伏能源科技有限公司